磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?

来源：学生作业帮编辑：搜狗做题网作业帮分类：综合作业时间：2024/07/09 17:37:28

磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?
但是仔细检查了没有发现大漏的地方，而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢？
放气的问题考虑到了，是在烘烤冷却之后抽的。
还会有什么可能呢？
机械泵油长时间没换会不会影响这么大？而且是突然这样的。

1、系统泄露；
2、真空泵换油
3、真空室热泄露
4、机械泵抽到50PA,也是很差的了,应该在10一下,
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